Daiichinekken第一热研株式会社[应用实例:电子/半导体领域]氧化锆氧浓度计活跃于电子、工业、医药等广泛领域。我们编制了一系列已被采用的案例研究。

在电子和半导体行业,产品商业化之前有各种流程,我们的氧气计用于控制这些流程中的气氛并防止氧化。微量氧(ppm)测量是主流。
例如,广泛应用于半导体制造设备、回流焊炉、真空热处理炉等。
我们会根据样气条件来选择设备,请联系我们。

对象型号:TB-IIF系列、TB-IIV(N)系列、EZY系列

*其他行业也广泛使用。请下载收养案例集和按申请列表,然后联系我们。

基本信息[应用实例:电子/半导体领域]氧化锆氧浓度计

[氧化锆氧气计可以解决的问题]
○我想通过测量氧气浓度来控制气氛来提高质量
○我想测量真空中的氧气浓度
○我想通过管理燃烧来降低燃料成本
○PSA,气体生产设备 我想管理清洁气体的浓度等

[特点]
○ 检测部分采用稳定氧化锆陶瓷的 O2 传感器
○ 氧化锆传感器具有多层保护,具有抗灰尘和腐蚀性气体侵蚀的结构
○ 提供适合测量条件的附件
○ ppmO2 水平仪兼容高达 100% O2 的广泛范围
○ 真空兼容产品可以测量 1 x 10-3 Pa(1 x 10-5 Torr)减压下的 O2 分压
〇 测量热处理炉等内部的氧化/还原气氛。可控(-O2%、CO+H2、mV范围)
○结构简单,维护方便

*详情请咨询我们或参阅样本。

价格信息我们会根据测量条件选择设备,请联系我们。
 〜1个月
应用/结果示例半导体制造设备:扩散炉、CVD等。
焊接相关设备:N2回流炉、浸渍炉等。